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PISCO碧士克真空泵对应单元VXP?VX PT半导体行业
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PISCO碧士克真空泵对应单元VXP?VX PT半导体行业

供给用阀追求响应性至极限,实现真空系统的高循环化。

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产品特性:真空泵品牌:PISCO碧士克型号:VXP?VX PT
用途:半导体设备叶轮吸入方式:无锁推式电压:220V

真空泵对应单元VXP?VX PT

供给用阀追求响应性至极限,实现真空系统的高循环化。

实现真空系统的高循环性。

供给用阀追求响应性至极限,实现真空系统的高循环化。

真空泵系统对应单元配备3端口规格。通过真空供给用主阀的三方阀化,大幅缩短了真空破坏时间。

由于在主阀关闭后立即进行真空保持,因此与仅通过真空破坏空气进行的以往的双通阀(VXP型)相比,3通规格(VXPT型)在主阀关闭时使大气流入真空回路,可通过大气压+真空破坏空气进行真空破坏。

满足市场需求的轻量、紧凑型真空泵对应单元。

真空开关有2种类型。

可视性好的带LED压力显示的真空开关备有带2点开关输出和带模拟输出的2种类型和只提供廉价的模拟输出的类型。

固定方法有2种,可根据用途进行选择。

还为二次电池制造工序准备了“-S3规格”。


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